• Entwicklung von Vakuumtransferventilen für FPD (Flat Panel Display) Beschichtungskammern

• FEM-Berechnungen

• Konzeption für Inline-Anlagen

• Dichtungstechnik

• Materialtechnologie

• Fertigungstechnik

 

 

 

 

 

 

 

 

Entwicklung von Vakuumtransfer-Ventilen zur Isolation von Transfer- und Prozesskammern

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

Konstruktion und Definierung von Materialien und Werkstoffen für die Vakuumtechnik